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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0611025(B2) 申请公布日期 1994.02.09
申请号 JP19860048470 申请日期 1986.03.07
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 SUGAHARA KAZUYUKI;NISHIMURA TADASHI;KUSUNOKI SHIGERU;INOE YASUAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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