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发明名称 SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE AND ITS MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1090284(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960242147 申请日期 1996.09.12
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 OKAZAKI MASAYA
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q30/02;G01Q30/06;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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