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发明名称
摘要
申请公布号 JP2862304(B2) 申请公布日期 1999.03.03
申请号 JP19900017003 申请日期 1990.01.26
申请人 FUJITSU KK 发明人 MISHIMA TATSUO
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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