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发明名称 MASK FOR PROCESSING OF RIE
摘要
申请公布号 JPH11102880(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970260396 申请日期 1997.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUJIE TOMOE
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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