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发明名称
DOOR ASSEMBLY FOR SEMICONDUCTOR WAFER MANUFACTURING
摘要
申请公布号
EP1165412(A1)
申请公布日期
2002.01.02
申请号
EP19990909655
申请日期
1999.02.26
申请人
PRI AUTOMATION, INC.
发明人
DENKER, JEFFREY, M.
分类号
B65G49/02;B65G49/07;H01L21/00;(IPC1-7):B65G49/07
主分类号
B65G49/02
代理机构
代理人
主权项
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