发明名称 | 一种带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法,包括模版制备、芯片浇注步骤,其中模版制备包括覆膜、图形设计、光刻、化学刻蚀,其特征在于图形设计时,将模版待生成筛孔的位置设计成曲线形状。本发明提供的带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法,成品率高、硅片制作省时、省力。 | ||
申请公布号 | CN1530657A | 申请公布日期 | 2004.09.22 |
申请号 | CN03111164.5 | 申请日期 | 2003.03.14 |
申请人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明人 | 戴忠鹏;罗勇;盖宏伟;林炳承 |
分类号 | G01N33/50;G01N27/26;C12M1/34;H01L21/64 | 主分类号 | G01N33/50 |
代理机构 | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人 | 张晨 |
主权项 | 1.一种带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法,包括模版制备、芯片浇注步骤,其中模版制备包括覆膜、图形设计、光刻、化学刻蚀,其特征在于图形设计时,将模版待生成筛孔的位置设计成曲线形状。 | ||
地址 | 116023辽宁省大连市中山路457号 |