发明名称 一种带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法
摘要 本发明提供了一种带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法,包括模版制备、芯片浇注步骤,其中模版制备包括覆膜、图形设计、光刻、化学刻蚀,其特征在于图形设计时,将模版待生成筛孔的位置设计成曲线形状。本发明提供的带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法,成品率高、硅片制作省时、省力。
申请公布号 CN1530657A 申请公布日期 2004.09.22
申请号 CN03111164.5 申请日期 2003.03.14
申请人 中国科学院大连化学物理研究所 发明人 戴忠鹏;罗勇;盖宏伟;林炳承
分类号 G01N33/50;G01N27/26;C12M1/34;H01L21/64 主分类号 G01N33/50
代理机构 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 代理人 张晨
主权项 1.一种带筛孔的塑料微流控芯片的制备方法,包括模版制备、芯片浇注步骤,其中模版制备包括覆膜、图形设计、光刻、化学刻蚀,其特征在于图形设计时,将模版待生成筛孔的位置设计成曲线形状。
地址 116023辽宁省大连市中山路457号