用于传送玻璃基片之装置及方法

摘要

本发明提供一种用于传送一玻璃基片之装置及方法。该装置包含：一供给气体之气体供给单元；一具有复数个喷射孔之喷射平板，经由该等孔气体被喷射出来；以及一阻障平板，其局部地阻挡从复数个喷射孔喷射之气体。根据本发明，由于该玻璃基片不通过与诸如一滚子之任何单元体接触而被传送，因此有可能防止该玻璃基片被颗粒污染。另外，由于该气体连续将该玻璃基片悬浮于空气中，因此在传送过程中该玻璃基片不会倾斜。