发明名称 |
制备UV光检测器的方法 |
摘要 |
本发明涉及制备基于具有液相的前体体系的沉积的光检测器的方法。所述光检测器的特征在于某组可用作日盲UV检测器中的吸收剂的半导体材料。公开了用于形成这种吸收剂材料薄层的简单的方法。 |
申请公布号 |
CN105934535A |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201580006138.5 |
申请日期 |
2015.01.16 |
申请人 |
默克专利股份有限公司 |
发明人 |
R·胡克;R·D·德舒克;P·米希凯维奇;A·科尔司兹克;K·邦拉德;T·阿尔布雷特 |
分类号 |
C23C18/12(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L31/0264(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/12(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
陈晰 |
主权项 |
制备UV光检测器的方法,包括以下步骤:‑沉积包含液体载体、金属离子的液体组合物,其中所述金属离子的一种或多种结合至选自肟化物和异羟肟酸化物的配体,‑处理沉积的组合物得到UV光检测器材料,和‑向光检测器材料提供电极。 |
地址 |
德国达姆施塔特 |