| 发明名称 |
Zuechtung von duennen Halbleiterschichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1544183(A1) |
申请公布日期 |
1970.06.25 |
| 申请号 |
DE19661544183 |
申请日期 |
1966.09.15 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORP. |
发明人 |
BREWSTER ROBBINS,WILLIAM;LANE KERN,EDWARD |
| 分类号 |
C23C8/04;C23C8/36;C23C14/00;C23C14/04;C23C14/22;C23C14/32;C23C26/00;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C8/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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