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经营范围
发明名称
WAFER FIXING DEVICE
摘要
申请公布号
KR970011659(B1)
申请公布日期
1997.07.12
申请号
KR19890003614
申请日期
1989.03.22
申请人
TOKYO ELECTRON SAGAMI KK.
发明人
ASANO, TAKANOBU
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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