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发明名称 WIRING OF OXIDE SUPERCONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH01220876(A) 申请公布日期 1989.09.04
申请号 JP19880047722 申请日期 1988.02.29
申请人 NEC CORP 发明人 TSUGE HISANAO
分类号 H01L39/24;C23C14/04;H01B13/00;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
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