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经营范围
发明名称
ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH0233844(A)
申请公布日期
1990.02.05
申请号
JP19880182991
申请日期
1988.07.22
申请人
HITACHI LTD
发明人
OTAKA TADASHI
分类号
H01J37/141;G01Q30/02;G01Q30/18;H01J37/16;H01J37/18
主分类号
H01J37/141
代理机构
代理人
主权项
地址
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