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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03169047(A) 申请公布日期 1991.07.22
申请号 JP19890307465 申请日期 1989.11.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIWATARI TAMOTSU;YAMADA MASAAKI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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