发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTING SILICON SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0412085(A) |
申请公布日期 |
1992.01.16 |
申请号 |
JP19900114520 |
申请日期 |
1990.04.27 |
申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
NAKAHAMA YASUMITSU;ARAKI KENJI;SUZUKI MAKOTO |
分类号 |
C30B15/12;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/12 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|