| 发明名称 |
OPTICAL DISPLACEMENT MEASURING METHOD AND TACTUAL SENSOR USING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0510729(A) |
申请公布日期 |
1993.01.19 |
| 申请号 |
JP19910162942 |
申请日期 |
1991.07.03 |
| 申请人 |
YASKAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
ARINAGA YUJI;NAKAJIMA KOJI |
| 分类号 |
G01B11/14;G01C3/06;G01D5/38 |
主分类号 |
G01B11/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
