发明名称 METHOD OF DETERMINATION OF CRYSTALLOGRAPHIC INHOMOGENEITY OF SEMICONDUCTOR CRYSTALS
摘要
申请公布号 RU1491271(C) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 SU19864052054 申请日期 1986.04.07
申请人 INSTITUT FIZIKI AN BSSR;BPESTSKIJ INZHENEPNO-STPOITELNYJ INSTITUT 发明人 GLADYSHCHUK A.A.;GRIBKOVSKIJ V.P.;PARASHUK V.V.;YABLONSKIJ G.P.
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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