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发明名称 Verfahren und Vorrichtung für den vertikalen Transport einer Halbeiter-Plättchen-Kassette
摘要
申请公布号 DE19681493(T1) 申请公布日期 1998.06.18
申请号 DE1996181493T 申请日期 1996.07.10
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC., FREMONT, CALIF., US 发明人 BONORA, ANTHONY C., MENLO PARK, CALIF., US;NEADS, MICHAEL A., FREMONT, CALIF., US;OEN, JOSHUA T., NEWARK, CALIF., US
分类号 B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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