| 摘要 |
本发明提供一种可变电阻元件，其可进行稳定的电阻式变换动作，且具有良好的电阻值保持特性。上述可变电阻元件系于夹持于上部电极1与下部电极3之区域具有可变电阻体2之构成，且利用结晶粒径为30 nm以下之氧化钛或氮氧化钛构成该可变电阻体2。尤其是使可变电阻体2成膜时，于使基板温度为150℃~500℃之条件下进行，藉此形成结晶粒径为30 nm以下之锐钛矿型结晶。根据具有此种构成之可变电阻体2之可变电阻元件，具有如下优良效果：藉由施加电压脉冲，可变电阻体之结晶状态变化，藉此电阻值变化，因此不需要成形过程，藉此可进行稳定的电阻式变换动作，并且即使重复变换次数，电阻变动亦较少，又，即使于高温下长期保管，电阻变动亦较小。 |
