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发明名称 HALBLEITERBEARBEITUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT407450(T) 申请公布日期 2008.09.15
申请号 AT19990959795T 申请日期 1999.12.13
申请人 TOHO KASEI LTD.;DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 发明人 MAEDA, NORIO;OONO, MASAO;AIHARA, HIROSHI
分类号 H01L21/677;H01L21/68;B65G49/04;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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