| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE AVEC UNE COUCHE UTILE MAINTENUE A DISTANCE D'UN SUBSTRAT PAR DES BUTEES, ET DE DESOLIDARISATION D'UNE TELLE COUCHE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2736934(B1) |
申请公布日期 |
1997.08.22 |
| 申请号 |
FR19950008882 |
申请日期 |
1995.07.21 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BONO HUBERT;MICHEL FRANCE;REY PATRICE |
| 分类号 |
H01L21/302;B81B3/00;G01P15/08;H01L21/3065;H01L49/00;(IPC1-7):C23F1/02 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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