发明名称 PLAQUETTE DE SILICIUM MONOLITHIQUE TYPE P/TYPE N
摘要 La présente invention concerne une plaquette de silicium (10) monolithique type p / type n, présentant, dans un plan vertical de coupe, une alternance de zones (110) dopées n et de zones (120) dopées p, caractérisée en ce que : - chacune des zones (110) et (120) s'étend sur toute l'épaisseur (e) de la plaquette, - deux zones dopées n (110) sont séparées l'une de l'autre dans un plan vertical de coupe par une zone dopée p (120), et - les zones dopées n (110) présentent une concentration en donneurs thermiques à base d'oxygène et une densité de dislocations moyenne supérieures à celles des zones dopées p (120). Elle concerne encore des procédés de fabrication d'une telle plaquette.
申请公布号 FR3030888(A1) 申请公布日期 2016.06.24
申请号 FR20140063124 申请日期 2014.12.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 发明人 DUBOIS SEBASTIEN;ENJALBERT NICOLAS;GARANDET JEAN-PAUL;MARTEL BENOIT;VEIRMAN JORDI
分类号 H01L31/0352;H01L31/068;H01L31/18 主分类号 H01L31/0352
代理机构 代理人
主权项
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