電子光学系ＭＥＭＳ用電荷排出塗膜

摘要

電荷排出塗膜に関連したシステム及び方法を開示する。電子光学系デバイスの表面に電荷排出塗膜を塗布して、電荷排出塗膜に接触する電子を排出することができる。従って、電子光学系デバイスの性能は、電子電荷の増大によって制約されなくなる。電荷排出塗膜は、高耐圧絶縁材料内に埋入されたクラスターに凝集する注入材料を含み得る。電子光学系デバイスを構成する小型レンズの内面に電荷排出塗膜を堆積させてよい。