| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer Diffusionszone |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1952632(A1) |
申请公布日期 |
1971.04.22 |
| 申请号 |
DE19691952632 |
申请日期 |
1969.10.18 |
| 申请人 |
LICENTIA GMBH |
发明人 |
CONZE PETER;REIN HANS DIPL-ING DR |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/331;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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