| 发明名称 |
ABTASTEINRICHTUNG ZUR GLEICHZEITIGEN ABTASTUNG FLAECHEN HAFTER MUSTER IN MEHREREN ABTASTRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1673962(B1) |
申请公布日期 |
1971.06.09 |
| 申请号 |
DE19681673962 |
申请日期 |
1968.02.16 |
| 申请人 |
INTERNAT BUSINESS MASCHINES CO |
发明人 |
RALPH ROTTMANN HANS |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/03;G02B23/02;G03F9/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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