发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 CA907430(A) 申请公布日期 1972.08.15
申请号 CAD907430 申请日期
申请人 AIRCO 发明人 KURT D. KENNEDY
分类号 C23C14/32;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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