发明名称 SCHICHTKOERPER UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2034384(B2) 申请公布日期 1976.11.18
申请号 DE19702034384 申请日期 1970.07.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L29/04;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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