发明名称 METHOD OF PHOSPHIDE INDIUM EPITAXIAL LAYERS PREPARATION BY TRANSPORT METHOD WITH TIGHT ARRANGEMENT OF SOURCE AND SUBSTRATE
摘要
申请公布号 CS8607625(A1) 申请公布日期 1989.07.12
申请号 CS19860007625 申请日期 1986.10.22
申请人 DEML FRANTISEK,CS 发明人 DEML FRANTISEK,CS
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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