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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01177366(A) 申请公布日期 1989.07.13
申请号 JP19880002091 申请日期 1988.01.08
申请人 RICOH CO LTD 发明人 OTA WASABURO;KINOSHITA MIKIO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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