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经营范围
发明名称
ENERGY BEAM IRRADIATOR
摘要
申请公布号
JPH03238811(A)
申请公布日期
1991.10.24
申请号
JP19900035619
申请日期
1990.02.15
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAWARA KATSUJI;KOBAYASHI KENICHI
分类号
H01L21/30;H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
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地址
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