PLASMA TREATMENT EQUIPMENT,申请号JP19900150032-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH0443632(A)	申请公布日期	1992.02.13
申请号	JP19900150032	申请日期	1990.06.11
申请人	HITACHI LTD	发明人	MOCHIZUKI YASUHIRO
分类号	H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31	主分类号	H01L21/302
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