| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON DIOXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH059739(A) |
申请公布日期 |
1993.01.19 |
| 申请号 |
JP19910165908 |
申请日期 |
1991.07.05 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
ITO WATARU;MIYAMOTO YASUSHI;MIYAJIMA SHUNPEI;HASHIMOTO MISAO |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/42;C23C16/50;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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