| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING DEFECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08327557(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19950136782 |
申请日期 |
1995.06.02 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
HAGIWARA TSUNEYUKI;KATO KINYA;SUEYOSHI MASASHI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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