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发明名称 CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0167478(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19910020990 申请日期 1991.11.23
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 INOUE, MASAHUMI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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