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经营范围
发明名称
PROBE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR0167477(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19910021565
申请日期
1991.11.28
申请人
TOKYO ELECTRON YAMANASHI LIMITED
发明人
YAMASHITA, SATORU
分类号
C22C5/02;G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
C22C5/02
代理机构
代理人
主权项
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