| 发明名称 |
OUTSIDE EXPOSURE METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING MASK AND EXPOSURE APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR0167241(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
| 申请号 |
KR19950007983 |
申请日期 |
1995.04.06 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
YE, HAN-SOO |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
