发明名称 CONTACT PLUG FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0165372(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950007054 申请日期 1995.03.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, DUK-HYUNG;MOON, JONG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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