于基底上分配控制料量之设备与方法

摘要

本发明有关可将材料分配到一基底上的设备与方法。该设备包括具有一分配器之分配系统，及一可调整基底上欲分配材料量之控制系统。该设备亦包括一可获得基底上分配材料图像之图像截取系统，一用于分析图像与测量分配材料量之测量系统，及一可对控制系统提供更正信号以改变分配材料量之补偿系统。