反射式投影光学系统

摘要

一种反射式投影光学系统，用以将一物表面上的一图案，投影到一影像表面上，该反射式投影光学系统包含复数反射镜，其中，沿光学路径距离该影像表面的一第二个反射镜，接收会聚光束，且具有-0.14或较小的一傍轴放大率。