压电器件和具有此压电器件的墨盒

摘要

一种压电器件，其具有基体，它包括在基体第一表面上开口的空腔，形成于基体第二表面上的第一电极层，层叠在第一电极层上的压电层，以及形成于基体第二表面之上的辅助电极层。在第一电极层和辅助电极层之间形成了绝缘间隙，以保证在这两层电极层之间形成绝缘状态。绝缘间隙形成为远离与空腔周边相对应的位置。该压电器件可以防止在压电层产生裂缝。

主权项

1.一种压电器件，包括：具有设置成彼此相对的第一表面和第二表面的基体，所述基体包括用于容纳将被检测的介质的空腔，所述空腔具有底部并形成为可在所述第一表面的一侧上打开，所述空腔的所述底部形成为可以振动；形成于所述第二表面的一侧上的第一电极层，所述第一电极具有形成于与所述空腔相对应的区域内的主体；层叠在所述第一电极层上的压电层，所述压电层具有形成于与所述空腔相对应的所述区域内的主体和从所述主体延伸出并超过与所述空腔的周边相对应的位置的延伸部分；形成于所述基体的所述第二表面的一侧上的辅助电极层，所述辅助电极层的至少一部分位于所述第二表面和所述压电层的所述延伸部分之间，使其可支撑所述压电层的所述延伸部分；和层叠在所述压电层上并与所述辅助电极层相连的第二电极层，其特征在于，所述第一电极层、所述第二电极层以及所述辅助电极层三者的位于与所述空腔相对应的所述区域内的那一部分整体地形成几乎对称的形状，所述三者的那一部分具有通过所述压电层的所述主体的中心的至少两个对称轴。