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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A FREE-STANDING SUBSTRATE MADE OF MONOCRYSTALLINE SEMI-CONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 KR100760066(B1) 申请公布日期 2007.09.18
申请号 KR20047011356 申请日期 2003.01.21
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;C30B29/40;C23C16/01;C23C16/34;C30B25/02;C30B29/04;H01L21/20;H01L21/762 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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