高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法

摘要

本发明提供一种高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法，包含以下步骤：首先提供一基板；接着，形成一多晶硅薄膜晶体管于该基板之上；接着，形成一绝缘层覆盖该薄膜晶体管；接着，刻蚀该绝缘层以形成多个接触窗；在覆盖阻水氧层于该多个接触窗之后，对该薄膜晶体管进行一高压水气退火制程。

主权项

1.一种高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法，其特征在于，包含：提供一基板；形成一多晶硅薄膜晶体管于该基板之上，其中该多晶硅薄膜晶体管具有一源极、一漏极、及一栅极，而该栅极的材质为Ti、ITO、Cr或重掺杂多晶硅；形成一绝缘层覆盖该薄膜晶体管；刻蚀该绝缘层以形成多个接触窗；以及在覆盖一阻水氧层于所述多个接触窗之后，对该薄膜晶体管进行一高压水气退火制造工艺。