Suction Pad for Semiconductor Transfer Device,申请号KR20070038178-传众专利搜索

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发明名称	Suction Pad for Semiconductor Transfer Device
摘要
申请公布号	KR100889591(B1)	申请公布日期	2009.03.20
申请号	KR20070038178	申请日期	2007.04.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/677;H01L21/60	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
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