| 摘要 |
1. Способ изготовления фильтрующего элемента путем ионно-плазменного напыления материала катода, выполненного из одного из металлов Ti, Zr, Hf, Cr, Al, Cu, Ni, Nb или их сплавов, или нержавеющей стали, электродуговым испарением на пористую полимерную подложку, помещенную на поворотном приспособлении в рабочей камере, в среде рабочего газа при непрерывном контроле температуры подложки и давления рабочего газа в камере, отличающийся тем, что после откачивания рабочей камеры до давления (4-6)·10-5 мм рт.ст. рабочую камеру заполняют аргоном до давления (1-4)·10-4 мм рт.ст. и проводят обработку низкотемпературной плазмой при токе разряда 40-50 А в течение 30-40 мин при температуре -50 - +150°С, затем, не выключая источник низкотемпературной плазмы, проводят напыление в том же температурном интервале, при этом весь процесс осуществляют при постоянном охлаждении подложки, за счет циркуляции охлаждающей среды через внутреннюю полость поворотного приспособления. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве рабочего газа используют аргон или смесь аргона и азота, или смесь аргона и ацителена, или смесь аргона и азота и ацителена. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве охлаждающей среды используют воду или жидкий азот, или глицерин. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение покрытий на полимерную подложку осуществляют как при нулевом, так и при отрицательном потенциале между подложкой и корпусом рабочей камеры. ! 5. Поворотное приспособление для изготовления фильтрующего элемента, расположенное в рабочей камере и выполненное в форме цилиндра, снабженного поворотным механизмом, отличающееся тем, что дополнительно снабжено нат |
