| 发明名称 |
ISOLATOR FOR A SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER |
| 摘要 |
플라즈마 프로세싱 챔버를 위한 프로세싱 키트. 프로세싱 키트는 복수의 세라믹 아크-형상 피스(arc-shaped piece)들을 포함한다. 각각의 아크-형상 피스는 오목한 제 1 단부 및 볼록한 제 2 단부를 가지며, 그리고 각각의 아크-형상 피스의 제 1 단부는 이웃하는 아크-형상 피스의 인접하는 단부와 메이팅(mate)하여, 링 형상 내측 격리기(ring shaped inner isolator)를 형성하도록 구성된다. |
| 申请公布号 |
KR20160083057(A) |
申请公布日期 |
2016.07.11 |
| 申请号 |
KR20167014764 |
申请日期 |
2014.10.23 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SANKARAKRISHNAN RAMPRAKASH |
| 分类号 |
H01L21/02;C23C16/509;C23C16/513;H01L21/205;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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