摘要 |
Устройство формирования квантовых точек, включающее магнетронный источник, содержащий источник питания, анод и распылитель вещества, включающий постоянный магнит и мишень-катод, подложкодержатель для крепления подложки-приемника распыляемого вещества, отличающееся тем, что мишень-катод выполнена из железа, при этом электроны совершают движение по полуокружности, периодически взаимодействуя с мишенью-катодом и инертным газом, анод выполнен в виде сетки, устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, установленным снаружи полого цилиндра, внутренняя поверхность которого выполнена зеркальной, в полом цилиндре по образующей выполнена прорезь, в которой установлена с возможностью изменения направления лазерных лучей оптическая часть источника лазерного излучения. |