发明名称 УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК
摘要 Устройство формирования квантовых точек, включающее магнетронный источник, содержащий источник питания, анод и распылитель вещества, включающий постоянный магнит и мишень-катод, подложкодержатель для крепления подложки-приемника распыляемого вещества, отличающееся тем, что мишень-катод выполнена из железа, при этом электроны совершают движение по полуокружности, периодически взаимодействуя с мишенью-катодом и инертным газом, анод выполнен в виде сетки, устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, установленным снаружи полого цилиндра, внутренняя поверхность которого выполнена зеркальной, в полом цилиндре по образующей выполнена прорезь, в которой установлена с возможностью изменения направления лазерных лучей оптическая часть источника лазерного излучения.
申请公布号 RU162957(U1) 申请公布日期 2016.07.10
申请号 RU20150109675U 申请日期 2015.03.19
申请人 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" 发明人 Ивашов Евгений Николаевич;Яговцев Владимир Олегович
分类号 C23C14/35;H01L29/15 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
地址