发明名称 光量測定装置及び光量測定方法
摘要 簡単な構成で高精度な測定を実現できる発光ダイオードの光量測定装置を提供する。光量測定装置3は、放射状に光を発光するLED101に対向配置され、LED101から発光された光を受光し、その光量を測定する受光モジュール1と、LED101に電力を供給してLED101を発光させるためのプローブ針109と、LED101から発光された光のうち受光モジュール1に受光させる光の範囲である受光範囲を、LED101の発光中心軸LCAに対する角度θに基づいて設定する受光範囲設定手段と、を備える。LED101は、ダイシングシート103b上に複数配列されている。受光範囲設定手段は、複数配列されたLED101から発光された光を受光モジュール1が受光する際に、LED101の配列態様にかかわらず受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、受光範囲を設定する。
申请公布号 JPWO2014020978(A1) 申请公布日期 2016.07.21
申请号 JP20130541899 申请日期 2013.05.28
申请人 パイオニア株式会社;株式会社パイオニアFA 发明人 望月 学;藤森 昭一
分类号 G01J1/00;G01J1/06;G01M11/00;H01L21/66;H01L33/00 主分类号 G01J1/00
代理机构 代理人
主权项
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