| 主权项 |
1.一种基板移载方法,系藉移载装置将矩形状基板从取出位置移载至移载位置之基板移载方法,其特征为具有下述步骤:以非接触式检测出位于上述取出位置之基板之一边之至少二处,依上述检测结果算出,包含有,上述一边相对于移载装置之倾斜度,及沿着与上述一边直交之方向之上述一边之位置的一边位置资讯,及依上述所算出之一边位置资讯,藉上述移载装置将基板从上述取出位置取出并定位移载于上述移载位置。2.如申请专利范围第1项所述之基板移载方法,其中另包括下述步骤,以非接触式检测出与上述基板之上述一边直交之另一边,及依上述检测出之结果算出包含有沿着上述一边之延出方向之上述另一边之位置的另一边位置资讯,而且上述定位移载工程,系依上述一边位置资讯及另一边位置资讯,藉上述移载装置将上述基板定位、移载于移载位置者。3.如申请专利范围第1项所述之基板移载方法,其中上述检测基板之一边之工程系包含,令设置于上述移载装置之检测装置相对于位于上述取出位置之基板之上述一边作相对移动而予以检测之工程。4.如申请专利范围第2项所述之基板移载方法,其中令上述基板定位移载于移载位置之工程系包括有,依据上述一边位置资料令上述移载装置对位于上述取出位置之基板进行特定之相对位置之补正的工程;及藉补正于上述特定之相对位置之移载装置而从上述取出位置取出上述基板之工程。5.如申请专利范围第4项所述之基板移载方法,其中令上述基板定位移载于移载位置之工程系包括,令上述移载装置所取出之基板一面保持与上述移载装置及基板间之相对位置,一面依据上述另一边位置资讯,藉上述移载装置定位于特定之基准位置之后,移载于上述移载位置之工程。6.一种基板移载方法,系藉移载装置将基板从取出位置移载于移载位置之基板移载方法,其特征为包括有下述步骤,以非接触式检测出上述基板之特定之测定部位之位置,算出上述所检测出之测定部位之位置与特定之基准位置之间之相对位置资料,及依据上述相对位置资讯将上述基板定位移载于移载位置。7.一种基板移载方法,系藉移载装置将基板从取出位置移载于移载位置之基板移载方法,其特征为包括有下列步骤,以非接触式检测出上述取出位置中之基板之特定之测定部位之位置,而算出上述所检测出之测定部位之位置与特定之基准位置之间之相对位置资讯,及一面维持上述基板与移载装置之相对位置关系,一面藉上述移载装置而将位于上述取出位置之基板,依据上述所检测出之特定部位之位置资讯,定位移载于移载位置。8.如申请专利范围第7项所述之基板移载方法,其中上述检测工程系藉由,令沿着特定排列方向而互相离开设置之二个位置检测装置与上述基板之上述测定部位,沿着与上述排列方向交叉之方向作相对移动,以使该二个位置检测装置与上述测定部位互相重叠般而实施检测者。9.如申请专利范围第8项所述之基板移载方法,其中上述检测工程系检测矩形状基板之一边。10.如申请专利范围第8项所述之基板移载方法,其中上述检测工程系检测,设于矩形状基板之一端之二个角部上之定位标记。11.一种基板移载装置,系将矩形状基板由取出位置移载于移载位置之基板移载装置,其特征为包含有,由上述取出位置取出基板并移载于移载位置之移载装置;及以非接触式检测出位于上述取出位置之基板之一边之至少二个位置的检测装置;及依上述检测装置之检测结果,算出包括上述一边相对于上述移载装置之倾斜度,以及沿着与上述一边直交之方向之上述一边之位置,的一边位置资讯,并依上述所算出之一边位置资讯来控制上述移载装置,从上述取出位置取出基板,并定位移载于上述移载位置之控制装置。12.如申请专利范围第11项所述之基板移载装置,其中另具有以非接触式检测出与上述基板之上述一边呈直交之另一边之位置的第2检测装置;上述控制装置系具有主控制部,俾依2检测装置所检测出之结果算出包括沿着上述一边之延出方向之上述另一边之位置的另一边位置资讯,并依据上述一边位置资讯及另一边位置资讯来控制上述移载装置而将上述基板定位移载于移载位置。13.如申请专利范围第11项所述之基板移载装置,其中,上述移载装置系具备有:设置成可调整相对于上述取出位置之基板之相对位置,且可调整相对于上述移载位置之相对位置,用于支撑上述基板的支撑构件;以及令上述支撑构件移动于,支撑位于上述取出位置之基板之第1位置,与将上述被支撑之基板移载于上述移载位置之第2位置之间,的驱动装置者。14.如申请专利范围第13项所述之基板移载装置,其中上述控制装置系具备有调整装置,俾依上述一边位置资讯藉由上述驱动装置来调整上述支撑构件相对于上述取出位置上之上述基板之相对位置,同时,依上述另一边位置资讯藉由上述驱动装置来调整支撑上述基板之支撑构件之相对于上述移载位置之相对位置。15.如申请专利范围第13项所述之基板移载装置,其中上述检测装置系备有,设置于上述支撑构件且当上述支撑构件朝上述第1位置方向移动时检测出上述一边的二个感测器者。16.如申请专利范围第15项所述之基板移载装置,其中上述各感测器系包括光学感测器。17.如申请专利范围第12项所述之基板移载装置,其中更具有卡匣载置部,俾令以特定间隔叠层状态收容有多数基板之卡匣保持于上述取出位置。18.如申请专利范围第11项所述之基板移载装置,其中上述移载装置系具备有:支撑上述基板之手臂;及可令上述手臂于基准平面上直线移动,且沿着直交于上述基准平面之基准轴昇降自如地予以支撑之支撑装置;以及令上述支撑装置沿着与上述基板之一边略平行之移动方向移动之移动装置者。19.如申请专利范围第18项所述之基板移载装置,其中更包括有,界定多数取出位置之基板载置部,而该取出位置系沿着上述移动方向而排列者。20.如申请专利范围第18项所述之基板移载装置,其中上述支撑装置系具备有,连结于上述基准轴之第1手臂,以及连结上述手臂及第1臂之第2臂者。21.如申请专利范围第18项所述之基板移载装置,其中上述移载装置系具备,以基准轴为中心而使上述手臂旋摆动之装置者。22.一种基板移载装置,系由取出位置将基板移载于移载位置之基板移载装置,其特征为包含有:由上述取出位置取出上述基板并将基板移载于移载位置之移载装置;及以非接触式检测出载置于上述取出位置之基板之特定测定部位之检测装置;以及算出上述所检测出测定部位之位置与特定基准位置间之相对位置资讯,并依上述相对位置资讯来控制上述移载装置,而将上述基板定位移载于移载位置的控制装置者。23.一种基板移载装置,系由取出位置将基板移载于移载位置之基板移载装置,其特征为包含有:本体,其具备有,收容以特定间隔叠层之多数矩形状基板之卡匣所被载置之取出位置,以及相对于上述取出位置沿着特定之基准轴排列且由取出位置起离开特定距离而被界定之移载位置;及在上述取出位置与移载位置之间,设置于上述本体,上,由载置于上述取出位置之卡匣内取出基板并将基板移载于移载位置之移载装置,该移载装置系备有,保持上述基板之支撑构件,及令上述支撑构件沿着移动轴移动自如地予以支撑之移动装置,以及介由上述移动装置令上述移动构件移动之同时,将上述移动轴设定于任意方向之驱动装置;及检测出相对于在上述取出位置上之基板之上述支撑构件之位置之检测装置;以及依上述检测装置所检测出之上述基板之位置,藉由上述驱动装置来变更上述移动轴之方向,藉由上述支撑构件将基板由上述取出位置移载于上述移载位置的控制装置者。图示简单说明:第一图表示装置整体之平面图。第二图表示上述装置一部份之斜视图。第三图表示载置于上述装置之卡匣之一部份断面图。第四图上述装置之移载装置之一部份之概略的平面图。第五图系概略的表示上述装置整体构成之概略方块图。第六图A-G系分别的概略的表示上述移载装置之移载动作之平面图。第七图A-C系概略的表示上述移载装置之手臂之动作之平面图。第八图系表示上述动作之移载动作之方块图。第九图系备有定位表记之基板之一例平面图。第十图系备有定位表记之基板之其他例平面图。 |
