| 摘要 |
本発明は、構造がシンプルかつ堅牢であり、かつ測定精度が高い小型の圧力センサ、および該圧力センサを備えた真空加工装置を提供することを課題とする。本発明に係る圧力センサ１は、空洞部４ａが形成された基台部４、基台部４の表面に設けられた高分子膜５、高分子膜５の表面領域５ｂに設けられた第１薄膜センサ６、および高分子膜５の表面領域５ｃに設けられた第２薄膜センサ７を備えたセンサ部２と、第１薄膜センサ６の温度が予め定められた温度に維持されるように電力を第１薄膜センサ６に供給する第１駆動部、および第２薄膜センサ７の温度に影響を与えない程度の微小電流を第２薄膜センサ７に供給する第２駆動部を備えた制御部３とを備える。第１薄膜センサ６および第２薄膜センサ７は、温度に応じて抵抗値が変化するよう構成されている。 |
