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发明名称 Verfahren zur Selbstpositionierung eines Elektronenstrahles auf einem Objekt
摘要
申请公布号 DE1615104(A1) 申请公布日期 1970.05.14
申请号 DE19671615104 申请日期 1967.07.24
申请人 VON ARDENNE,DR.MANFRED;PANZER,SIEGFRIED;HEISIG,ULRICH;DOEHLER,HEINZ;BAHR,GOTTFRIED 发明人 ARDENNE,DR.MANFRED VON;PANZER,SIEGFRIED;HEISIG,ULRICH;DOEHLER,HEINZ;BAHR,GOTTFRIED
分类号 G06K9/20;H01J37/304;H01L23/544 主分类号 G06K9/20
代理机构 代理人
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