发明名称 HALBLEITERBAUELEMENT MIT STABILISIERENDER OBERFLAECHENISOLIER SCHICHT
摘要
申请公布号 DE1764560(B1) 申请公布日期 1971.11.25
申请号 DE19681764560 申请日期 1968.06.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUSHITA MACHIKO;KOGA YASUSHI;NISHIMATSU SHIGERU;TOKUYAMA TAKASHI
分类号 H01L29/78;C23C16/40;H01L21/316;H01L23/29;H01L29/00;H01L29/51;(IPC1-7):01L1/10 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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